AI浪潮正在全球范圍內掀起一輪算力基礎設施建設狂潮。國際半導體產業(yè)協會（SEMI）預測，到2026年全球300毫米晶圓廠月產能將從2022年的600萬片增至960萬片。然而，芯片制造過程中大量使用的高純特種氣體，正成為工業(yè)領域一個被低估的溫室氣體排放源。三氟化氮（NF?）、六氟化硫（SF?）、四氟化碳（CF?）等電子特氣的全球變暖潛能值（GWP）高達二氧化碳的數千乃至數萬倍，其排放監(jiān)測與管控已成為半導體行業(yè)綠色發(fā)展的關鍵課題。

在芯片制造的光刻、刻蝕、化學氣相沉積等核心工藝中，NF?作為等離子蝕刻氣體被大量使用；SF?憑借優(yōu)異的絕緣性能廣泛應用于設備保護氣氛；CF?則是用量最大的等離子蝕刻氣體之一。這些氣體若未經充分處理直接排放，即便排放量不大，氣候影響卻極為顯著。以SF?為例，其GWP值約為CO?的23900倍，大氣壽命長達3200年。

面對日益嚴格的環(huán)保監(jiān)管，半導體行業(yè)如何以高效手段實現多種特種氣體的同步監(jiān)測，成為生產企業(yè)和管理部門的核心訴求。傳統(tǒng)監(jiān)測方案往往需要多臺儀器分別檢測不同組分，采購成本高、運維工作量大，不同設備間的數據一致性也難以保證。

樂氏集團9100FIR傅里葉紅外氣體分析儀，為這一行業(yè)痛點提供了創(chuàng)新解決方案。該產品基于傅里葉變換紅外光譜技術，利用氣體分子在中紅外波段的特征吸收"指紋"實現定性和定量分析。儀器光譜掃描范圍達485-8500cm?1，較目前市場上同類產品寬很多，可覆蓋絕大多數半導體行業(yè)特種氣體。儀器可精準定量50余種化合物，定性譜庫覆蓋5800余種，用戶還可通過開放模型構建平臺自行添加新的氣體種類，靈活適配工藝變更帶來的監(jiān)測需求變化。

從宏觀政策層面看，《空氣質量持續(xù)改善行動計劃（2026—2030年）》對重點行業(yè)大氣污染物排放提出了更嚴格的管控要求。半導體制造作為高附加值但高環(huán)境負荷的行業(yè)，其廢氣治理與監(jiān)測能力將成為未來環(huán)保監(jiān)管的重點關注領域。選擇一臺光譜范圍寬、可測氣體種類多、支持定制化開發(fā)的專業(yè)氣體分析儀，正成為廠商環(huán)境合規(guī)與綠色轉型的技術標配。9100FIR以"定性多+定量準+定制服務"的技術組合，正在助力中國半導體產業(yè)在擴產增效的同時，邁好綠色發(fā)展的每一步。